晶圆切割百科

芯片切割机是很是细密之装备，其主轴转速约在30,000至60,000rpm之间，由于晶粒与晶粒之间距很。ㄔ荚2mil，1mil=1/1000英吋）并且晶粒又相当懦弱，因此精度要求相当高（3μm在205mm之行程